大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法

特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應(yīng)注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應(yīng)輕裝輕卸，嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時，應(yīng)對氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Ｗo措施。不要使用損壞的設(shè)備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥，并有良好通風(fēng)，嚴(yán)禁明火和其它熱源，嚴(yán)禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴(yán)禁吸煙，氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應(yīng)永遠使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 

實驗室氣體管道設(shè)計要求

了解實驗室設(shè)計的都知道：實驗室的任何的設(shè)計都是有規(guī)格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設(shè)計就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內(nèi)，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發(fā)生直接傷害。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴(yán)重的就會有生命危險。